型　式 概　要 ER-700 優れた再現性能と省エネ効果を生み出すモノコック構造 ハニカム＆ダウンフロー機構で信頼性の高いモノコック構造と遠赤外線と熱風の併用加熱方式による基板に優しい加熱を実現したオーソドックスタイプ ER-900 サプライジングパワーが実証するダブル対流構造 ターボファンによるフィンヒーターの優れた熱効率を噴出しノズルとＩＲパネルにより基板のソフトな加熱を実現させたニュータイプ ER-80 環境と基板にやさしいサプライジングパワーユニット方式 ユニット方式とターボファンによる円滑な循環対流機構による加熱とフラックス残渣を逃がさない密閉放熱冷却機構の採用で優れたコンビネーションが誕生 ER-2500 セル生産に適したフェアウェイキープのリフロー装置 省エネ、省スペース、省ライン化を実現したコンパクト設計とプロナビ(R)と検査機によるフェアウェイキープの省生産性対応タイプ 型　式 概　要 ProNavi 誰もが使用、測定と管理はリフロー生産のプロナビ(R)に決定 温度測定は時間のかかるものと言われた常識を無くしたのはプロナビ(R)です。 温度測定の熱伝対を引っ張らず、測定器をパソコン入力する時間を省き、常時測定が確認できる優れもので、生産管理ができてパソコンが使える人なら誰でも温度設定が可能なリフロー装置の必需品 型　式 概　要 KTO-2000 ＣＣＤの樹脂硬化用に開発されたクリーン対応の加熱装置 専用マガジンをタクト送りする搬送機構とエージング炉内部は２ボックス構造で自動開閉扉の厚みを考慮して、扉移動バー、出入り口及び炉内移動バー、停止バーの３本のバーによりクリーンを保ちながら移動させる加熱装置です。 型　式 概　要 EK-200 半導体製造用石英管の洗浄後の乾燥用オーブン 石英管の長さＬ1700m/mまでを横向きに入れられる中柱の無い巾広設計を実現（姉妹機には巾1000m/mまでのタイプも用意しています） EK-200： EK-100： 型　式 概　要 窒素ガス発生装置 リフロー装置用に開発された高純度のＰＳＡ式窒素発生装置 15m3／Ｈ・30m3／Ｈ・50m3／Ｈ・100m3／Ｈ・まで幅広くユーザーに対応できる機種を揃えており、実験用などの小型のものまで要望にお答えしています。